光洁度仪标准的提出和发展与工业生产技术的发展密切相关，它经历了由定性评定到定量评定两个阶段。 表面粗糙度仪对机器零件表面性能的影响从1918年开始首先受到注意，在飞机和飞机发动机设计中，由于要 求用最少材料达到最大的强度，人们开始对加工表面的刀痕和刮痕对疲劳强度的影响加以研究。但由于测 量困难，当时没有定量数值上的评定要求，只是根据目测感觉来确定。在20世纪20～30年代，世界上很多 工业国家广泛采用三角符号的组合来表示不同精度的加工表面。
为研究表面粗糙度仪对零件性能的影响和度量表面微观不平度的需要，从20年代末到30年代，德国、美国 和英国等国的一些专家设计制作了轮廓记录仪、轮廓仪，同时也产生出了光切式显微镜和干涉显微镜等用 光学方法来测量表面微观不平度的仪器，给从数值上定量评定表面粗糙度仪创造了条件。从30年代起，已对表 面粗糙度定量评定参数进行了研究，如美国的Abbott就提出了用距表面轮廓峰顶的深度和支承长度率曲线来 表征表面粗糙度仪。1936年出版了Schmaltz论述表面粗糙度仪的专著，对表面粗糙度仪的评定参数和数值的标准化 提出了建议。但粗糙度评定参数及其数值的使用，真正成为一个被广泛接受的标准还是从40年代各国相应的 国家标准发布以后开始的。
首先是美国在1940年发布了ASA B46.1国家标准，之后又经过几次修订，成为现行标准ANSI/ASME B46. 1-1988《表面结构表面粗糙度仪、表面波纹度和加工纹理》，该标准采用中线制，并将Ra作为主参数；接着前苏 联在1945年发布了GOCT2789-1945《表面光洁度、表面微观几何形状、分级和表示法》国家标准，而后经过了3 次修订成为GOCT2789-1973《表面粗糙度仪参数和特征》，沧州欧谱该标准也采用中线制，并规定了包括轮廓均方根偏差 即现在的Rq)在内的6个评定参数及其相应的参数值。另外，其它工业发达国家的标准大多是在50年代制定的， 如联邦德国在1952年2月发布了DIN4760和DIN4762有关表面粗糙度仪的评定参数和术语等方面的标准等。